Bề mặt của vật thể bị bắn phá bởi các electron di chuyển ở tốc độ cao dưới tác động của điện trường, khiến nó được làm nóng. Thành phần chính cho hệ thống sưởi chùm tia điện tử là máy tạo chùm tia điện tử, còn được gọi là súng electron. Súng electron chủ yếu bao gồm một cực âm, điện cực lấy nét, cực dương, ống kính điện từ và cuộn dây lệch. Anode được nối đất và cực âm được kết nối với vị trí cao âm. Chùm tia tập trung thường ở cùng tiềm năng với cực âm và điện trường tăng tốc được hình thành giữa cực âm và cực dương. Các electron phát ra từ catốt được tăng tốc đến tốc độ cao dưới tác động của điện trường tăng tốc, tập trung bởi một ống kính điện từ, sau đó được điều khiển bởi một cuộn dây lệch, do đó chùm electron được hướng về phía đối tượng được nung nóng theo một hướng nhất định.
Ưu điểm của hệ thống sưởi chùm electron là: ①control Giá trị hiện tại tức là của chùm electron, có thể dễ dàng và nhanh chóng thay đổi công suất gia nhiệt; ② l Ống kính điện từ có thể được sử dụng để tự do thay đổi phần nóng hoặc tự do điều chỉnh diện tích của phần bắn phá chùm tia điện tử; Có thể tăng mật độ công suất để vật liệu tại điểm bị bắn phá sẽ bay hơi ngay lập tức.